新闻中心
NEWS CENTER
行业新闻
公司新闻
行业新闻 当前位置:晨芯科技 >> PCB新闻中心 >> 行业新闻 >> 浏览文章

硫化物CVD系统智能制造启示

产品概述:
此套系统前端配有可加热到0-1000℃的蒸发器,辅助固体源蒸发,后端为双温区硫化炉,温度控制精确,操作简便。左端配有法兰支撑架可将预热器和硫化炉分开使用。右端可配气氛微调装置,可以准确的反应腔体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常实用,重复性好;真空机组装有真空粉尘过滤器以保护机械式真空泵不被硫粉尘损坏。整套系统可在1200℃以下的工艺温度稳定气相沉积二硫化钼等二维化合物材料。
 
设备组成:
蒸发器,双温区管式炉(蒸发器与高温反应区采用分体式)。
 
主要技术参数:
蒸发器
工作温度:室温-1000℃
最高温度:1050℃
最快升温速率:30℃/min
推荐升温速率:10℃/min
控温方式:智能化30段可编程控制
工作电压:AC220 V
额定功率:1000W
控温精度:±1℃
加热元件:电阻丝
加热区长度(mm):150mm
双温区硫化炉
技术参数:
额定功率(KW):3
额定电压(V):AC220v  50/60 Hz
最高温度(℃):1200(1 hour)
持续工作温度(℃):1100
升温速率(℃/min):≤50
高纯石英管Φ50×1500mm
加热区长度(mm):150/300mm
恒温区长度(mm):100/120mm  
控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能
控温精度(℃):±1
加热元件:电阻丝
 
晨芯科技专业从事电子产品R&D、PCB LAYOUT、PCB设计、PCB抄板、PCB制板、射频识别技术(RFID)应用、智能卡管理、产品克隆、代工代料生产(OEM配套加工)、IC解密、代理电子元器件,可为国产企业提供集成电路配套生产服务及强有力的技术支持,为突破国外技术壁垒,振兴民族产业,加快芯片国产化之路作贡献。